GFC 質(zhì)量流量控制器的操作原理

更新時(shí)間：2023-05-06

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GFC 低成本鋁制或不銹鋼熱質(zhì)量流量控制器

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

± 1% FS 精度為標(biāo)準(zhǔn)
剛性金屬結(jié)構(gòu)
可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm
最大壓力為 1000 psig (70 bars)
泄漏完整性 1 x 10 ^-9 sccs 的氦氣
NIST 溯源認(rèn)證
內(nèi)置可傾斜 LCD 讀數(shù)（某些型號(hào)）
本地或遠(yuǎn)程設(shè)定點(diǎn)控制
0-5 Vdc 和 4-20 mA 信號(hào)
電路保護(hù)
累加器選項(xiàng)

操作原理

計(jì)量氣體被分成兩條層流路徑，一條通過主流量管道，另一條通過毛細(xì)管傳感器。兩個(gè)流道都被設(shè)計(jì)成確保層流，因此它們的流速比是恒定的。

傳感器管上的兩個(gè)精密感溫繞組被加熱，當(dāng)流動(dòng)發(fā)生時(shí)，氣體將熱量從上游繞組傳遞到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設(shè)計(jì)用于監(jiān)測(cè)傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時(shí)流速成線性比例。

生成 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的輸出信號(hào)，指示基于質(zhì)量分子的計(jì)量氣體流速。

The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環(huán)控制電路連續(xù)監(jiān)測(cè)質(zhì)量流量輸出并將其保持在設(shè)定的流量。

在規(guī)定的限制范圍內(nèi)，流速不受溫度和壓力變化的影響。