作為在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)體制造現(xiàn)場(chǎng)等的質(zhì)量管理中支持氫氟酸溶液的液中微粒測(cè)量?jī)x，里昂的能夠測(cè)量
藥液中0.02μm粒子的液中微粒傳感器“KS-20F"。
迄今為止，我們也向市場(chǎng)投入了測(cè)量藥液中0.03μm粒子的液中粒子傳感器。 但是，在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)
體制造工序中，進(jìn)一步推進(jìn)了微小工藝技術(shù)，在半導(dǎo)體工廠和材料、藥液制造商的質(zhì)量管理中，對(duì)于微小
粒子的測(cè)量的需求越來(lái)越大。 隨著汽車電動(dòng)化、電氣產(chǎn)品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規(guī)格( 5G )
的普及，半導(dǎo)體市場(chǎng)持續(xù)活躍。 因此，通過開發(fā)和投入可測(cè)量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在
滿足這些市場(chǎng)需求的同時(shí)，以大型半導(dǎo)體制造商為首，謀求擴(kuò)大相關(guān)材料、藥液制造商的訂單。
基于液中粒子傳感器“KS-20F"的系統(tǒng)構(gòu)成
測(cè)量系統(tǒng)各產(chǎn)品名稱:(左下)液中微粒傳感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、
(右)注射器采樣器KZ-31W
主要特點(diǎn)
1 )支持氫氟酸溶液，實(shí)現(xiàn)最的小的可測(cè)粒徑0.02μm
2 )可以任意地將粒徑區(qū)分設(shè)定在0.02~0.08μm范圍內(nèi)
3 )豐富的選項(xiàng)支持批量測(cè)量和在線測(cè)量
測(cè)量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示例
更新時(shí)間：2024-01-24 
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