Technomate 高壓泵 SSBL-37.5A KLM 與 SSBL-37.5A KLZ：
同款泵體，兩種“性格”——密封材料決定它們各自的戰(zhàn)場
在半導(dǎo)體、面板、光伏等制程里，"高壓+防爆+微量輸送"是剛需。日本 Technomate 二十五年長銷的 SSBL-37.5A 系列，就是專為這類場景設(shè)計(jì)的“氣動柱塞增壓泵"。同一泵體，僅因密封材質(zhì)不同被分成兩個尾綴：KLM(FKM 氟橡膠)與 KLZ(Kalrez 全氟醚)。一字之差，卻決定了它們能走哪條工藝管線、能陪哪種化學(xué)品"長跑"。
一、共用平臺：先厘清"相同" • 壓力/流量：在 0.05–0.5 MPa 工廠氣源驅(qū)動下，可輸出 17.6 MPa 液體壓力，流量 0.58 L min?¹，適合 50–200 μm 噴嘴的精密噴射 イプロスものづくり 。
• 外形：W123 × H116 × D296.5 mm，重約 3 kg，可水平或垂直嵌入清洗腔體，也能倒掛在移載臂上 イプロスものづくり 。
• 接液材質(zhì)：泵頭、柱塞均為 PTFE + 超高分子量聚乙烯，耐一般溶脹；關(guān)鍵差異就在 O-ring。
• 耗氣量：約 70 L min?¹(60 SPM 時)，對廠務(wù)空壓系統(tǒng)負(fù)擔(dān)小 シンアイ産業(yè) 。
• 防爆：無需電力，全部氣動，可過 Ex 認(rèn)證，用于 Class 1000 潔凈室及要求防爆的溶劑間。
二、分道揚(yáng)鑣：密封材料決定化學(xué)兼容性 1. SSBL-37.5A KLM(FKM 規(guī)格)
密封圈：氟橡膠(Viton/FKM)
推薦介質(zhì)：純水、IPA(異丙醇)、丙酮、低濃度酸堿 イプロスものづくり
典型工藝：
– 晶圓 Jet-clean：高壓 10 MPa 純水掃片，去除拋光液殘?jiān)?br />
– IPA 干燥：8 MPa IPA 霧噴射，配合 Marangoni 干燥，無水?。?br />
– 光刻膠剝離：低壓 2–5 MPa 丙酮點(diǎn)噴，減少邊緣殘留。
優(yōu)勢：成本友好，F(xiàn)KM 密封件單價僅為 Kalrez 的 1/5，適合大批量、介質(zhì)溫和且更換周期短的產(chǎn)線。 2. SSBL-37.5A KLZ(Kalrez 規(guī)格)
密封圈：全氟醚 Kalrez(FFKM)
推薦介質(zhì)：NMP、N-甲基吡咯烷酮、DMAC、DMSO、TMAH 等強(qiáng)極性、高沸點(diǎn)溶劑 イプロスものづくり
典型工藝：
– 金屬剝離(Lift-off)：12 MPa NMP 掃描，溶解紫外膠與金屬疊層；
– 聚酰亞胺清洗：熱 NMP 90 °C 循環(huán)噴射，去除固化樹脂；
– 銅布線去殘膠：DMAC 點(diǎn)噴，高壓穿透窄溝槽。
優(yōu)勢：Kalrez 在 200 °C 以下幾乎零溶脹，長期連續(xù)運(yùn)行 6–12 個月仍能維持壓力穩(wěn)定；減少停機(jī)換密封頻率，綜合擁有成本反而更低。
三、如何選型：一條"介質(zhì)-溫度-預(yù)算"的決策樹 1. 介質(zhì)只涉及純水、IPA、丙酮、丁酮 → 選 KLM，足夠。 2. 介質(zhì)含 NMP、DMAC、DMSO、TMAH 或溫度 > 80 °C → 直接上 KLZ，避免 FKM 溶脹導(dǎo)致壓力漂移。 3. 工藝允許每月停機(jī)例行保養(yǎng)，且密封件作為耗材列入運(yùn)營成本 → KLM 更經(jīng)濟(jì)。 4. 設(shè)備裝在密閉腔體或高空軌道，換密封困難 → 一次性投入 KLZ，減少 MTTR(平均維修時間)。
四、維護(hù)小貼士 • 每次停機(jī)后，用 0.2 MPa 氮?dú)獍驯妙^殘液吹掃干凈，可延長密封壽命 30 % 以上。 • 若出現(xiàn)壓力波動 > ±5 %，優(yōu)先檢查背壓閥與噴頭是否堵塞，再考慮更換 O-ring。 • Kalrez 雖耐化學(xué)性好，但對顆粒更敏感，建議在泵入口加 5 μm PTFE 折疊濾芯。 • 密封更換周期參考：FKM 連續(xù)運(yùn)行 3–4 個月；Kalrez 6–12 個月，具體視溶劑純度與溫度而定。
五、結(jié)語
SSBL-37.5A 的 KLM 與 KLZ 版本，就像同一輛越野車配了兩款輪胎：FKM 適合公路與輕越野，經(jīng)濟(jì)耐磨；Kalrez 則是全地形胎，泥濘山道也能長跑。把介質(zhì)特性放在前面，再結(jié)合維護(hù)窗口與預(yù)算，就能讓這臺小巧的氣動高壓泵在晶圓、面板或鋰電池前段線上，穩(wěn)穩(wěn)地跑出 17.6 MPa 的"高壓人生"。
更新時間：2026-01-22 
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