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otsukael積分光度計

otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

產(chǎn)品型號：SLS-6500HL
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-06-26
訪問量：4918

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　　otsukael靜態(tài)光散射光度計積分光度計SLS-6500HL的介紹

　　除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

　　特征：

　　可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)

　　能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

　　通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

　　支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析

　　通過創(chuàng)建光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性

　　測量項目

　　橢圓參數(shù)(tanψ，cosΔ)測量

　　光學常數(shù)(n：折射率，k：消光系數(shù))分析

　　膜厚分析

　　測量對象

　　半導體ウェーハ

　　ゲート酸化薄膜，窒化膜

　　SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN

　　レジストの光學定數(shù)(波長分散)

　　化合物半導體

　　AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

　　FPD

　　配向膜

　　各種新素材

　　DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜

　　光學薄膜

　　TiO2，SiO2，反射防止膜

　　リソグラフィー分野

　　g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価

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